|
Р 50.2.006-2001 РЕКОМЕНДАЦИИ
ПО МЕТРОЛОГИИ Государственная
система обеспечения единства ГОСУДАРСТВЕННАЯ
ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ГОССТАНДАРТ РОССИИ Предисловие 1 РАЗРАБОТАНЫ Государственным Федеральным
Унитарным предприятием «Всероссийский научно-исследовательский институт
метрологической службы (ВНИИМС)» Госстандарта России ВНЕСЕНЫ Управлением
метрологии Госстандарта России 2 ПРИНЯТЫ И ВВЕДЕНЫ В ДЕЙСТВИЕ Постановлением
Госстандарта России от 2 апреля 2001г. № 156-ст 3 ВВЕДЕНЫ ВПЕРВЫЕ РЕКОМЕНДАЦИИ ПО МЕТРОЛОГИИ Государственная
система обеспечения единства измерений ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА Дата введения 2002-01-01 1 Область применения
Настоящие рекомендации распространяются на государственную
поверочную схему для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 20000
мкм и устанавливают назначение установки высшей точности для воспроизведения
единицы длины в области измерений толщины покрытий в диапазоне от 1 до 30 мкм,
ее основные характеристики и порядок передачи размера единицы длины - метра (м)
от установки высшей точности и эталонов, заимствованных из других поверочных
схем, при помощи рабочих эталонов рабочим средствам измерений с указанием
погрешностей и основных методов поверки. 2 Нормативные ссылки
В настоящих рекомендациях использованы ссылки на следующие
нормативные документы: ГОСТ
8.296-78 Государственная система обеспечения единства измерений.
Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств
измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025¸1600
мкм ГОСТ 2475-88 Проволочки и
ролики. Технические условия ГОСТ
25373-82 Лазеры измерительные. Типы. Основные параметры. Технические
требования МИ 1903-97 Государственная система обеспечения единства
измерений. Эталоны толщины покрытий. Методика поверки МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства
измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в
диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм. 3 Установка высшей точности
3.1 Установка высшей точности предназначена
для воспроизведения и хранения единицы длины в области измерений толщины
покрытий в диапазоне от 1 до 30 мкм и передачи размера единицы при помощи
рабочих эталонов 1-го разряда рабочим средствам измерений, применяемым в
народном хозяйстве, с целью обеспечения единства измерений в стране. 3.2 В основу измерений толщины покрытий,
выполняемых в Российской Федерации, положена единица, воспроизводимая указанной
установкой высшей точности. 3.3 Установка высшей точности состоит из
комплекса следующих средств измерений: - оптический квантовый генератор по ГОСТ
25373; - специальный интерферометр; - система обработки информации. 3.4 Диапазон значений единицы длины в
области измерений толщины покрытий, воспроизводимых установкой высшей точности,
составляет от 1 до 30 мкм. 3.5 Установка высшей точности обеспечивает
воспроизведение единицы длины в области измерений толщины покрытий со
среднеквадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,006 мкм. Неисключенная
систематическая погрешность q не превышает 0,009 мкм. 3.6 Для обеспечения воспроизведения единицы
длины в области измерений толщины покрытий с указанной точностью должны быть
соблюдены правила хранения и применения установки высшей точности, утвержденные
в установленном порядке. 3.7 Установку высшей точности применяют для
передачи размера единицы длины в области измерений толщины покрытий рабочим
эталонам 1-го разряда методом прямых измерений. 4 Рабочие эталоны
4.1
Эталоны, заимствованные из других поверочных схем 4.1.1 В качестве эталонов, заимствованных из
других поверочных схем, применяют плоскопараллельные концевые меры длины 1-го
разряда по МИ 2060, проволочки измерительные класса 0 по ГОСТ 2475
и контактные профилографы 1-го разряда по ГОСТ 8.296. 4.1.2 Плоскопараллельные концевые меры длины
применяют для поверки установок 1-го разряда, предназначенных для поверки мер
толщины покрытий, и установок 2-го разряда, предназначенных для поверки
магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий методом прямых
измерений. 4.1.3 Проволочки измерительные класса 0
применяют для косвенных измерений мер толщины немагнитных токопроводящих
покрытий на диэлектрических основаниях трубчатых 1-го разряда. 4.1.4 Контактные профилографы применяют для
поверки эталонных 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий в соответствии с
МИ 1903. 4.2
Рабочие эталоны 1-го разряда 4.2.1 В качестве рабочих эталонов 1-го разряда
применяют: установки для поверки мер толщины покрытий в диапазоне от 1
до 1000 мкм; меры толщины немагнитных токопроводящих покрытий на
диэлектрических основаниях трубчатые (диаметр от 0,6 до 1,5 мм) в диапазоне от
5 до 100 мкм; меры толщины полупроводниковых покрытий на диэлектрических
основаниях в диапазоне от
5 до 30 мкм; меры толщины диэлектрических покрытий на полупроводниковых
основаниях в диапазоне от 1 до 5 мкм. 4.2.2 Пределы допускаемых абсолютных
погрешностей для установок 1-го разряда D не превышают (0,05 + 0,01h) мкм (где h - толщина покрытия в мкм), для мер толщины
покрытий трубчатых d - не превышают 0,6 мкм, для других мер
толщины покрытий - не превышают (0,1 + 0,025h) мкм. 4.2.3 Установки 1-го разряда применяют для
поверки эталонных 2-го разряда и рабочих мер толщины покрытий методом прямых
измерений. Меры толщины покрытий трубчатые 1-го разряда применяют для
поверки мер толщины покрытий трубчатых 2-го разряда сличением при помощи
компаратора. Меры толщины покрытий на полупроводниковых и диэлектрических
основаниях применяют для поверки соответствующих рабочих толщиномеров покрытий
методом прямых измерений. 4.3
Рабочие эталоны 2-го разряда 4.3.1 В качестве рабочих эталонов 2-го разряда
применяют меры толщины покрытий в диапазоне от 2 до 1000 мкм, меры толщины
немагнитных токопроводящих покрытий на диэлектрических основаниях трубчатые в
диапазоне от 5 до 100 мкм и установки для поверки магнитных и вихретоковых
толщиномеров диэлектрических покрытий в диапазоне от 1 до 20000 мкм. 4.3.2 Пределы допускаемых абсолютных
погрешностей d мер толщины покрытий составляют от (0,1 +
0,025h)
до (0,3 + 0,025h)
мкм, мер толщины покрытий трубчатых не превышают 1,5 мкм, установок для поверки
магнитных и вихретоковых толщиномеров диэлектрических покрытий не
превышают 0,6 мкм в диапазоне
от 1 до 50 мкм; 2,0 мкм - в диапазоне от 50 до 2000 мкм; 20 мкм - в диапазоне
от 2000 до 20000 мкм. 4.3.3 Рабочие эталоны 2-го разряда применяют
для поверки толщиномеров методом прямых измерений, рабочих мер толщины покрытий
трубчатых сличением при помощи компаратора. 5 Рабочие средства измерений
5.1 В качестве рабочих средств измерений
применяют меры толщины покрытий различных сочетаний материалов оснований и
покрытий, меры толщины покрытий трубчатые и толщиномеры покрытий,
сгруппированные по назначению в зависимости от вида материалов покрытий и
оснований измеряемых объектов. 5.2 Пределы допускаемых абсолютных
погрешностей d мер толщины покрытий составляют от (0,2 +
0,05h)
до (0,3 + 0,05h)
мкм, мер толщины покрытий трубчатых не превышают 2,5 мкм. Пределы допускаемых абсолютных погрешностей толщиномеров
покрытий А составляют от 0,4 до 200,0 мкм. ГОСУДАРСТВЕННАЯ
ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ В
ДИАПАЗОНЕ от 1 до 20000 мкм Ключевые
слова: схема поверочная государственная, средства измерений, толщина покрытий СОДЕРЖАНИЕ |
|
|