Бесплатная библиотека стандартов и нормативов www.docload.ru

Все документы, размещенные на этом сайте, не являются их официальным изданием и предназначены исключительно для ознакомительных целей.
Электронные копии этих документов могут распространяться без всяких ограничений. Вы можете размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте.
Это некоммерческий сайт и здесь не продаются документы. Вы можете скачать их абсолютно бесплатно!
Содержимое сайта не нарушает чьих-либо авторских прав! Человек имеет право на информацию!

 

ГОСТ 25196-82

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Обозначение стандарта:ГОСТ 25196-82
Статус стандарта:действующий
Название рус.:Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название англ.:Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата введения в действие:01.07.1983
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартов
  • c=&f2=3&f1=II001023&l='>23 ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ *Измерение потока жидкости см. 17.120
  • c=&f2=3&f1=II001023160&l='>23.160 Вакуумная технология * Включая вакуумные насосы
  • c=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартов
  • c=&f2=3&f1=II002019&l='>Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь
  • c=&f2=3&f1=II002019007&l='>Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники
  • c=&f2=3&f1=II002019007001&l='>Э71 Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности


  • ГОСТ 25196-82
    ГОСТ 25196-82
    ГОСТ 25196-82





    Rambler's Top100 яндекс цитировани¤
      Copyright © 2008-2018, www.docload.ru