Бесплатная библиотека стандартов и нормативов www.docload.ru

Все документы, размещенные на этом сайте, не являются их официальным изданием и предназначены исключительно для ознакомительных целей.
Электронные копии этих документов могут распространяться без всяких ограничений. Вы можете размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте.
Это некоммерческий сайт и здесь не продаются документы. Вы можете скачать их абсолютно бесплатно!
Содержимое сайта не нарушает чьих-либо авторских прав! Человек имеет право на информацию!

 

ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение стандарта:ГОСТ 5.2105-73
Статус стандарта:действующий
Название рус.:Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата введения в действие:01.09.1973
Область и условия применения:Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартов
  • c=&f2=3&f1=II001031&l='>31 ЭЛЕКТРОНИКА
  • c=&f2=3&f1=II001031260&l='>31.260 Оптоэлектроника. Лазерное оборудование *Включая фотоэлементы
  • c=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартов
  • c=&f2=3&f1=II002019&l='>Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь
  • c=&f2=3&f1=II002019007&l='>Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники
  • c=&f2=3&f1=II002019007002&l='>Э72 Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности


  • ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73
    ГОСТ 5.2105-73





    Rambler's Top100 яндекс цитировани¤
      Copyright © 2008-2017, www.docload.ru