|
|
ГОСТ Р ИСО
14644-2-2001 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ Часть 2 Требования к контролю
и мониторингу ГОССТАНДАРТ РОССИИ Москва Предисловие
1
ПОДГОТОВЛЕН Ассоциацией инженеров по контролю микрозагрязнений (АСИНКОМ) ВНЕСЕН Техническим
комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной чистоты»
Госстандарта России 2
ПРИНЯТ И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 25 декабря
2001 г. № 590-ст 3
Настоящий стандарт представляет собой аутентичный текст международного
стандарта ИСО 14644-2-2000 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые
среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу дли подтверждения
постоянного соответствия ИСО 14644-1» (Cleanrooms and associated controlled environments. Part. 2. Specifications for testing
and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644 - 1-2000) 4
ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ Содержание 4 Обоснование постоянного
соответствия Приложение А Другие виды контроля Приложение В Влияние
оценки риска на контроль и мониторинг чистого помещения или чистой
зоны Введение Чистые помещения и связанные с ними контролируемые
среды предназначены для поддержания уровня чистоты по загрязнениям аэрозольными
частицами в пределах, соответствующих требованиям к выполнению операций с
повышенной чувствительностью к загрязнениям. Контроль
микрозагрязнений нужен в аэрокосмической, микроэлектронной, фармацевтической и
пищевой промышленности, производстве медицинских изделий, здравоохранении и пр.
При задании требований к чистым помещениям и другим контролируемым окружающим
средам, проектировании, эксплуатации и контроле, кроме загрязнений аэрозольными
частицами, могут учитываться и другие факторы. В некоторых случаях контролирующие органы
могут вводить дополнительные условия и ограничения. При этом может
потребоваться корректировка стандартных методов испытаний и контроля. Настоящий стандарт дает схему подтверждения
постоянного соответствия чистых помещений ГОСТ Р ИСО 14644-1 и устанавливает минимум
требований для контроля и мониторинга. В программах контроля следует уделять
внимание специфическим особенностям эксплуатации и оценке риска чистых
помещении. Следует иметь в виду, что некоторые элементы
настоящего стандарта могут быть объектом патентного права. Международный орган
по стандартизации (ИСО) не несет ответственности за принадлежность какой-либо
части стандарта к сфере патентного права. Международный стандарт ИСО 14644-2
подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 Cleanrooms and associated controlled environments - Чистые помещения и связанные с ними
контролируемые среды: Международный стандарт ИСО 14644 состоит из
следующих частей: - Часть 1: Классификация чистоты воздуха - Часть 2: Требования к контролю и
мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1 - Часть 3: Метрология и методы испытаний - Часть 4: Проектирование, строительство и
ввод в эксплуатацию - Часть 5: Эксплуатация - Часть 6: Термины и определения - Часть 7: Специальные устройства обеспечения
чистоты. Следует иметь в виду, что на период выхода
части 2 названия частей 3 - 7 являются рабочими (проектами). Если одна или
более частей будут исключены из программы работы, нумерация оставшихся частей
может быть изменена. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ
КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ Часть2 Требования к контролю и
мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1 Cleanrooms and associated controlled
environments. Part 2. Specifications for testing and monitoring to prove
continued compliance with ISO 14644-1-2000 Дата
введения 2003-01-01 1 Область применения
Настоящий
стандарт устанавливает требования к периодическому контролю чистого помещения
или чистой зоны с целью подтверждения их постоянного соответствия заданному
классу чистоты по аэрозольным частицам по ГОСТ Р ИСО 14644-1. Эти требования
относятся к проведению контроля соответствия чистого помещения или чистой зоны
заданному классу чистоты по ГОСТ Р ИСО 14644-1. Стандарт
определяет требования и к дополнительным видам контроля. По решению
пользователя могут быть определены специальные виды контроля. Настоящий стандарт определяет требования к мониторингу чистого помещения или чистой зоны (далее - чистого помещения) с целью подтверждения постоянного соответствия чистого помещения заданному классу чистоты по ГОСТ Р ИСО 14644-1. 2 Нормативные ссылки
В настоящем
стандарте использованы ссылки на следующие документы: ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха ИСО 14644-3*) Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Метрология и методы контроля. ______ *) Оригиналы международных стандартов - во ВНИИКИ Госстандарта России. 3 Термины и определения
В настоящем стандарте используются термины по ГОСТ Р ИСО 14644-1, а также следующие термины и соответствующие им определения. 3.1 Общие
термины 3.1.1 повторная
аттестация (requalification):
Процедура проверки соответствия чистого помещения заданному классу чистоты
по ГОСТ Р ИСО 14644-1, включая проверку
необходимых для этого условий. 3.1.2 контроль
(test)**):
Процедура, выполняемая определенным методом для оценки работы чистого
помещения или чистой зоны. ______ **) Контроль - выполняется для
определения концентрации аэрозольных частиц с установленной периодичностью в
соответствии с ГОСТ Р ИСО 14644-1. Могут выполняться и другие
виды контроля (приложение А). 3.1.3 мониторинг
(monitoring)*):
Наблюдения, выполненные путем контроля параметров в соответствии с
определенным методом и программой для получения данных о работе чистых
помещений. Примечание - Эта информация может быть использована при определении тенденций изменения параметров воздуха чистого помещения в эксплуатируемом состоянии и для обеспечения стабильности процесса. ________ *) Мониторинг -
выполняется техническими средствами непрерывно или с малой периодичностью
(часто) в объеме, определяемом пользователем. 3.2 Термины, относящиеся к периодичности
контроля или мониторинга 3.2.1 постоянный
(continuous): Выполняемый
непрерывно. 3.2.2 с
малой периодичностью (частый) (frequent): Выполняемый в эксплуатируемом помещении через
определенные интервалы, не превышающие 60 мин. 3.2.3 один
раз в 6 мес: Выполняемый в эксплуатируемом помещении со средним интервалом,
не превышающим 183 дней, при этом ни один из интервалов не должен превышать 190
дней. 3.2.4 один
раз в 12 мес: Выполняемый в эксплуатируемом помещении со средним
интервалом, не превышающим 366 дней, при этом ни один из интервалов не должен
превышать 400 дней. 3.2.5 один раз в 24 мес: Выполняемый в эксплуатируемом помещении со средним интервалом, не превышающим 731 дня, при этом ни один из интервалов не должен превышать 800 дней. 4 Обоснование постоянного соответствия
4.1 Принцип Постоянное
соответствие чистых помещений требованиям к чистоте воздуха (классу ИСО)
проверяется проведением определенных видов контроля и оформлением его
результатов. Данные мониторинга используются для оценки состояния чистых
помещений и могут служить основой для определения периодичности контроля. 4.2 Контроль постоянного соответствия 4.2.1 Метод контроля и его периодичность (максимальные интервалы времени между проведением контроля) для подтверждения постоянного соответствия чистых помещений заданному классу ИСО приведены в таблице 1. Таблица 1 - Периодичность контроля концентрации
аэрозольных частиц
4.2.2 При необходимости для чистых помещений всех классов выполняется контроль согласно таблице 2. Требования к контролю согласовываются Заказчиком и Исполнителем. Таблица 2 - Периодичность дополнительного контроля для
всех классов чистоты
4.2.3 В дополнение к
обязательным видам контроля (таблицы 1 и 2) соглашением между Заказчиком и Исполнителем
могут предусматриваться и другие виды контроля, соответствующие чистым
помещениям (приложение А). 4.2.4
Там, где чистые помещения оборудованы средствами постоянного или частого
мониторинга концентрации аэрозольных частиц и перепада давления воздуха (если
предусмотрено), периодичность контроля (таблица 1) может быть увеличена при
условии, что результаты постоянного или частого мониторинга остаются в заданных
пределах. 4.2.5
В чистых помещениях, требующих дополнительного контроля и оборудованных
средствами постоянного или частого мониторинга параметров, периодичность
дополнительного контроля (таблица 2) может
быть увеличена при условии, что результаты постоянного или частого мониторинга
остаются в заданных пределах. 4.2.6 Приборы,
используемые для контроля, должны быть калиброваны или поверены в установленном
порядке. 4.2.7 Если
результаты контроля находятся в заданных пределах, то чистое помещение
соответствует установленным требованиям. Если результат какого-либо вида
контроля выходит за установленные пределы, то чистое помещение не соответствует
заданным требованиям. В этом случае необходимо принять корректирующие меры.
После принятия этих мер проводится повторная аттестация. 4.2.8
Повторная аттестация чистых помещений проводится в случаях: a) устранения
причины несоответствия чистых помещений установленным требованиям; b) значительного
отклонения от условий эксплуатации, например, изменений в использовании чистого
помещения. Перечень изменений согласовывается Заказчиком и Исполнителем; c) любого
значительного перерыва в движении воздуха, который влияет на работу чистого
помещения. Продолжительность перерыва согласовывается Заказчиком и
Исполнителем; d) специального технического
обслуживания, которое существенно влияет на работу чистого помещения, например,
замена финишных фильтров (фильтров последней ступени очистки). Перечень видов обслуживания
согласовывается Заказчиком и Исполнителем. 4.3
Мониторинг параметров 4.3.1 Мониторинг концентрации аэрозольных частиц и других параметров должен проводиться в соответствии с программой. Примечание - Как правило, мониторинг параметров проводится в эксплуатируемом состоянии чистых помещений. 4.3.2 Программа мониторинга концентрации аэрозольных частиц должна основываться на оценке риска (приложение В) с учетом области применения чистого помещения. Программа должна включать, как минимум, предварительно определенные точки пробоотбора, минимальный объем воздуха для каждой пробы, продолжительность отбора проб, число проб в каждой точке пробоотбора, интервал времени между отборами проб, размер (размеры) частиц, по которым ведется контроль, приемлемые пределы счета, а также, при необходимости, пределы предупреждения, действия и допустимого отклонения. Примечания 1 Если программой
предусмотрены постоянный или частый мониторинг по концентрации аэрозольных
частиц и перепаду давления, то периодичность контроля концентрации частиц может
быть увеличена (4.2.4 и 4.2.5). 2 Мониторинг
других параметров (например, температуры и влажности) может проводиться
аналогично. 4.3.3 Если результаты мониторинга параметров выходят
за установленные уровни действия, то чистое помещение не соответствует
требованиям и следует принять соответствующие меры. Для оценки соответствия
чистого помещения предъявляемым требованиям после принятия этих мер следует
повторить виды контроля (4.2 и приложение А). Если соответствие
достигнуто, то мониторинг параметров можно возобновить. 4.3.4 Приборы,
используемые для мониторинга параметров, должны быть калиброваны или поверены в
установленном порядке. 4.4
Документация 4.4.1 Для подтверждения постоянного соответствия результаты повторной аттестации или контроля каждого чистого помещения должны быть документированы и представлены в виде отчета с заключением о соответствии или несоответствии чистых помещений требованиям по проведенным видам контроля. Отчет о
проведении контроля должен включать в себя следующие данные: a)
наименование и адрес проверяющей организации; b) данные о каждом
исполнителе и дату проведения каждого вида контроля; c) ссылку на
настоящий стандарт; d) четкие данные о
местоположении контролируемых чистых помещений (включая ссылку на соседние
зоны, если необходимо) и расположении (координатах) всех точек пробоотбора; e) заданные
характеристики чистых помещений, включая класс ИСО, размер (размеры) частиц,
состояние (состояния) чистого помещения, скорость потока воздуха или расход
воздуха, перепады давления воздуха; f) используемые приборы и
свидетельства об их калибровке или поверке; g) результаты контроля, включая данные о концентрации частиц для всех точек пробоотбора; h) данные о предшествующих
видах контроля, подтверждающие постоянное соответствие. Если периодичность
контроля была увеличена в соответствии с 4.2.4
и 4.2.5, то результаты постоянного или
частого мониторинга параметров должны войти в документацию. 4.4.2 Программа мониторинга параметров должна содержать необходимую документацию для каждого чистого помещения. 4.5 Отчеты Порядок хранения отчетов должен соответствовать системе контроля качества в месте нахождения чистых помещений. ПРИЛОЖЕНИЕ
А
(справочное) Другие
виды контроля В дополнение
к обязательным видам контроля по таблицам 1
и 2 для всех классов чистых помещений в программу
контроля могут включаться другие виды контроля (таблица А.1). Таблица А.1 - Периодичность других видов контроля
ПРИЛОЖЕНИЕ В(справочное) Влияние оценки риска на контроль и мониторинг чистого помещения или чистой зоны В каждом случае применения чистого помещения
или чистой зоны при оценке риска учитываются: a) программа мониторинга параметров; b) результаты мониторинга параметров; c) действия, которые нужно выполнить по
результатам мониторинга параметров; d) выбор контролируемых параметров (по таблице 2); e) выбор других параметров (по таблице А.1). Ключевые слова: чистое помещение,
контролируемые среды, требования, класс чистоты, концентрация аэрозольных
частиц, контроль, мониторинг, подтверждение соответствия. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
